誘導結合プラズマ（inductively coupled plasma,ICP）とは高周波誘導コイル内の高周波磁界によって生じるアルゴンプラズマのことです。試料溶液はネブライザーで噴霧されイオン化部であるICP中に導入されます。プラズマは非常に高温（5000〜7000K）であり試料中の元素は90%以上の効率でイオン化されます。ここで生じたイオンは二重収束型の質量分離装置に導かれて質量電荷比ごとに分離されます。ICP-MSは無機元素分析の代表的な装置の一つとして用いられています。

本装置の特徴として次のような事が挙げられます。

• 大部分の元素について超微量（ppb〜ppt）の定量分析ができる。
• 多元素同時分析が可能である。
• 検量線の直線範囲が広い。
• 二重収束型の装置なので高分解能である。（分解能300、3000、8000）

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